優點

(1)液壓執行機構的動作快，換向迅速。就流量——速度的傳遞函數而言，基本上是一個固有頻率很大的振蕩環節，而且隨著流量的加大和參數的最佳匹配可以使固有頻率增大到和電液伺服閥的固有頻率相比。電液伺服閥的固有頻率一般在100HZ以上，因而液壓執行機構的頻率響應是很快的，而且易于高速啟動、制動和換向。與機電系統執行機構相比，固有頻率通常較高。
(2)液壓執行機構的體積和重量遠小于相同功率的機電執行機構的體積和重量。因為隨著功率的增加液壓執行機構（如閥、液壓缸或馬達）的體積和重量的增加遠比機電執行機構增加的慢，這是因為前者主要靠增大液體流量和壓力來增加功率，雖然動力機構的體積和重量也會因此增加一些，但卻可以采用高強度和輕金屬材料來減少體積和重量。
(3)液壓執行機構傳動平穩、抗干擾能力強，特別是低速性能好，而機電系統的傳遞平穩性較差，而且易受到電磁波等各種外干擾的影響。
(4)液壓執行機構的調速范圍廣，功率增益高。

缺點：

(1)液壓信號傳遞速度慢不易進行校正，而電信號則是按光速來傳遞信息，而且易于綜合和校正。但是電液伺服系統由于在功率級以前采用了電信號，因而不存在這一缺點，而且在某種意義講這種系統具備了電、液兩類伺服的優點。
(2)液壓伺服系統的結構復雜、加工精度高，因而成本高。
(3)液體的體積彈性模數隨溫度和混入油中的空氣含量而變。當溫度變化時對系統性能有顯著影響。與此相反，溫度對氣體的體積彈性模數影響很小，因此對氣動控制系統的工作性能影響不大。溫度對液體的粘度影響很大，低溫時摩擦損失增大；高溫時泄漏增加，并容易產生氣穴現象。
(4)漏油是液壓系統的弱點，它不僅污染環境，而且容易引發火災。液壓油易受污染，并可造成執行機構堵塞。